PI が 6DOF 制御を備えた磁気浮上リニア ステージを開発

ナノ位置決め装置およびエア ベアリング ステージのメーカーである PI は、高精度のリニアモーターカーベースの技術実証機を開発しました。 磁気浮上は、磁場を利用して物体を浮上させ、推進させる摩擦のない運動技術です。 MagLev テクノロジーはさまざまな用途に使用されており、高速列車や磁気軸受で最もよく知られており、精密運動制御やナノ位置決め用途に大きなメリットをもたらします。

磁気浮上の基本原理は、同じ磁極が互いに反発することです。 最も単純な形で磁気浮上を実現するには、2 つの磁石が使用されます。 1 つの磁石は浮上する必要がある物体に配置され、もう 1 つの磁石はその下に配置されます。

この原理をナノ位置決めや精密な動作制御、たとえば直線移動ステージなどに役立てるためには、ベース内の磁石は電気的に制御可能なコイルでなければならず、横方向の動き、垂直方向の動き、ピッチ、ヨー、そして転がる。 モーション コントローラーへのフィードバックには、高解像度の位置検出システムも必要です。 リニアステージプラットフォームの動きを制限する機械的ベアリングがないため、強力な多軸コントローラーを使用して、ベアリングの不足を修正するために 6 つの自由度すべてを利用できます。

リニアモーターカーナノ位置決めシステムの潜在的な用途は、半導体のテストと計測、フォトニクス、光学、高解像度顕微鏡に見られます。 利点は、粒子の発生がないこと（クリーンルーム対応）、磨耗ゼロ、メンテナンス不要、コンパクトなパッケージでの多次元制御可能な動作、事実上無制限の耐用年数です。 エアベアリングステージとは異なり、圧縮空気の供給は必要ありません。

PI はナノポジショニング用途のための磁気浮上の研究に投資しており、顧客と協力して技術を一緒に前進させていきます。

詳細については、www.pi-usa.us をご覧ください。



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